长沙净化工程设计施工公司信赖推荐「云洁净化」

    洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

从确保洁净室内相对湿度的精度而言，上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高，故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时不采用。而采用喷干蒸汽和电热（电极）式加湿的方法。喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题，并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中，而其中有一部分变成凝结水排放出来。因此，选择干蒸汽加湿的加湿量时应考虑其喷蒸的效率。有的厂家给出的喷蒸效率为70%。

    净化车间洁净度检测时，使用光散射粒子计数器的取样量：关于尘土粒子计数器检测时的空气取样量，在国标GBJ73-84中规则：关于100级的净化车间，每次取样量应大于或等于1L，关于1000~10000级的净化车间，每次取样量应大于或等于0.3L，关于10000级的净化车间，每次取样量应大于或等于0.1L。关于100级净化车间，宜选用大流量粒子计数器进行测试。